Ｅ-mail： sumio@ieee.orgTel: 0238-26-3282 Fax: 0238-26-3299内 容水素ガスセンサ(有機EL、半導体、マイクロマシニング)、ガスの可視化、センサ表面の分析 石油は限りある資源であり、次世代のエネルギー源として水素ガスが注目されています。でも、水素は軽くて目に見えず、しかも少量でも爆発を起こすため、水素ガスを検出するセンサは不可欠のものです。奥山研究室では水素ガスを検出する種々のセンサの研究を行っています。有機EL素子を用いた発光による水素ガスセンサ、Pd/Ge界面の変化を用いる半導体水素ガスセンサ、Pdの膨張・収縮を利用し、マイクロマシン技術を用いた小型センサなど特徴的なデバイスを作成しています。電気電子工学電子デバイス・センサ分 野専 門E-mail ・ sumio@ieee.orgTel ・ 0238-26-3282Fax ・ 0238-26-3299内 容内容： 人工臓器は，長期間体内に埋設して使うことが目的ですので，生 人工臓器は、長期間体内に埋設して使うことが目的ですの体との親和性が高く，余計な化学物質を出さず，体液などと反応しで、生体との親和性が高く、余計な化学物質を出さず、体液ない安定な材料が必要になります．こうした材料には，一般にはセなどと反応しない安定な材料が必要になります。こうした材ラミックスなどが使用されますが，多くは脆かったり硬過ぎたりする料には、一般にはセラミックスなどが使用されますが、多く難加工材料であり，刃物などで加工することが非常に困難です．そは脆かったり硬過ぎたりする難加工材料であり、刃物などでの一方，このような材料を臓器として機能させるには，非常に精密加工することが非常に困難です。その一方、このような材料な加工を施す必要があります．を臓器として機能させるには、非常に精密な加工を施す必要 例えば，人工的な肝臓は未だに純機械的な方法はめどが立たず，があります。生体肝細胞を活かして使い続けようという方法が提唱されていま 例えば、人工的な肝臓は未だに純機械的な方法はめどが立すが，そのためには左図のような非常に微細な培養チャンバー（培たず、生体肝細胞を活かして使い続けようという方法が提唱養室）が必要になります．されていますが、そのためには左図のような非常に微細な培 物体を切削に頼らずに加工する方法の一つとして放電加工があ養チャンバー（培養室）が必要になります。ります．放電加工は，微細な距離に対峙させた金属間に放電を起 物体を切削に頼らずに加工する方法の一つとして放電加工こしてその熱で加工する方法で，機械加工法の一分野として確立があります。放電加工は、微細な距離に対峙させた金属間にされた技術ですが，微細な加工も得意としていますので，導電性の放電を起こしてその熱で加工する方法で、機械加工法の一分ある材料であれば加工が可能です．野として確立された技術ですが、微細な加工も得意としてい そこで，導電性を持たせたセラミックス材料に微細な加工を施してますので、導電性のある材料であれば加工が可能です。こうした技術を実現しようとしています． そこで、導電性を持たせたセラミックス材料に微細な加工を施してこうした技術を実現しようとしています。分 野： 応用生命システム工学専 門： 知的制御，放電加工分 野E-mail：kaneko@yz.yamagata-u.ac.jp専 門Tel ： 0238-26-3317E-mail ・ kaneko@yz.yamagata-u.ac.jpFax ： 0238-26-3317Tel ・ 0238-26-3317Fax ・ 0238-26-3317応用生命システム工学知的制御、放電加工●●パパララジジウウムムのの水水素素ガガススセセンンササ●● ママイイククロロママシシニニンンググにによよるるガガススセセンンササ●●半半導導体体をを用用いいたたガガススセセンンササ一一辺辺１１００００μｍｍ深深ささ４４００μｍｍ４４００μｍｍ２２００μｍｍ人工肝臓（想像図）培養チャンバーの完成図片片持持ちち梁梁Pd/Geシショョッットトキキダダイイオオーードド人体（想像図）200μm加工用電極の一例有有機機ＥＥＬＬママイイククロロ加加工工をを行行っったたガガススセセンンササ内容：水水素素ガガススセセンンササ(有有機機EL, 半半導導体体, ママイイククロロママシシニニンンググ)，， ガガススのの可可視視化化，，セセンンササ表表面面のの分分析析 石油は限りある資源であり，次世代のエネルギー源として水素ガスが注目されています．でも，水素は軽くて目に見えず，しかも少量でも爆発を起こすため，水素ガスを検出するセンサは不可欠のものです。奥山研究室では水素ガスを検出する種々のセンサの研究を行っています．有機EL素子を用いた発光による水素ガスセンサ，Pd/Ge界面の変化を用いる半導体水素ガスセンサ，Pdの膨張・収縮を利用し，マイクロマシン技術を用いた小型センサなど特徴的なデバイスを作成しています．分 野： 電気電子工学専 門：電子デバイス ・センサ48ガスセンサ・マイクロマシンの研究キーワード［ 水素ガスセンサ、マイクロマシン、パラジウム ］生体親和性材料の精密加工キーワード［ 生体親和性材料、放電加工、知的制御 ］准教授 奥山 澄雄准教授 金子 勉
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