（PDMSの微細凹凸可動構造E-mail ： mitobe@yz.yamagata-u.ac.jpTel ： 0238-26-3230Fax ： 0238-26-3205 HP ： https://mtb9.yz.yamagata-u.ac.jp/japanese/index.htmマイクロロボットフィンガー（形状記憶合金（SMA)厚膜クリップへの 歪みセンサ，薄膜ヒータ等の集積)SMA触覚ディスプレイ触覚ディスプレイ素子（形状記憶合金厚膜型）形状記憶合金膜形成（フラッシュ蒸着・自作開発）はやぶさ２小惑星表面物性制御ソフト探査ローバー（MINERVA-II-2)環境温度駆動型アクチュエータ61◯低コストな材料で、現場でカスタマイズできるロボットやアピールポイント：使い捨て型のロボットアームの構成方法になることを期待 ゆるいロボットのための，ゆるいロボット工学をめざします．しています。アピールポイント ゆるいロボットのための、ゆるいロボット工学をめざします。分 野専 門E-mail ・ mitobe@yz.yamagata-u.ac.jpTel ・ 0238-26-3230Fax ・ 0238-26-3205HP ・ https://mtb9.yz.yamagata-u.ac.jp/japanese/index.htm内 容内容： 超微細なメカニカルセンサやアクチュエータなどＭＥＭ/NEMS 超微細なメカニカルセンサやアクチュエータなどMEM/NEMS（Micro/nano Electro Mechanical Systems）デバ（Micro/nano Electro Mechanical Systems）デバイス開発に取り組イス開発に取り組み、特に、形状記憶合金、磁歪合金等のスみ、特に、形状記憶合金、磁歪合金等のスマート材料やソフト材料マート材料やソフト材料とマイクロナノデバイスの融合をとマイクロナノデバイスの融合を図って、触覚提示デバイス、生体図って、触覚提示デバイス、生体膜や血管操作用マイクロロ膜や血管操作用マイクロロボット、生体分子操作用の多機能AFMボット、生体分子操作用の多機能AFMナノツール、遠隔地ナノツール、遠隔地で動作する小惑星探査用メカなど、様々な分野で動作する小惑星探査用メカなど、様々な分野の応用デバイスを開発しています。また、これらの実現に不可欠なスマーの応用デバイスを開発しています。 また、これらの実現に不可欠ト材料薄膜・厚膜形成、3Dリソグラフィ、特殊エッチングなスマート材料薄膜・厚膜形成、3Dリソグラフィ、特殊エッチングななど、独自のマイクロ・ナノ加工プロセス開発に取り組んでど、独自のマイクロ・ナノ加工プロセス開発に取り組んでいます。います。アピールポイント： 独自のプロセス技術とMEMS/NENS形成手法にアピールポイントより、平面のみならず微細3D構造をもつ幅広い分野の応用デバイ 独自のプロセス技術とMEMS/NEMS形成手法により、平スへ展開が可能です。面のみならず微細3D構造をもつ幅広い分野の応用デバイス分 野： 理工学研究科 機械システム工学へ展開が可能です。専 門： MEMS, NEMS マイクロセンサ， マイクロアクチュエータ， マイクロ/ナノ微細加工プロセス 分 野E-mail ：mineta-t@yz.yamagata-u.ac.jp 専 門Tel ： 0238-26-3192 E-mail ・ mineta-t@yz.yamagata-u.ac.jpTel ・ 0238-26-3192Fax ： 0238-26-3192 Fax ・ 0238-26-3192HP ： http://mineta_lab.yz.yamagata-u.ac.jp/HP ・ http://mineta_lab.yz.yamagata-u.ac.jp/機械システム工学ロボット工学、制御工学機械システム工学MEMS、NEMS マイクロセンサ、マイクロアクチュエータ、マイクロ／ナノ微細加工プロセス分子像観察／分子操作用のデュアルAFMナノプローブ(超近接・中空探針、磁歪薄膜カンチレバー）円筒露光（自作開発）ロボットの関節をゴムや樹脂などの柔らかい材料でつくり，手先など外力を柔軟に吸収できるようにします．モータは腱駆動として関節を簡単構造にして低コストで，カスタマイズできるようにします．関節の回転軸が定まらないため，関節角度を使って運動計算できません．アームの位置・姿勢を関節角度を用いずに表して制御する必要があります． 5 μmSMAマイクロカテーテル（円筒リソグラフィ、電解エッチング加工による微細チューブ状屈曲機構）磁磁歪歪膜膜ススイイッッチチンンググ機機構構ノノズズルル中中空空エエッッチチンンググデバイス内容：内 容◯ 関節を柔らかくして回転軸の振れまわりを許すことで，手先などからの外力を柔らかく吸収できるロボットを研究しています．◯関節を柔らかくして回転軸の振れまわりを許すことで、手先などからの外力を柔らかく吸収できるロボットを研究しています。◯ 駆動方式を外部から弾性腱をまきとる方式として，関節を簡単構造にします．（関節にはモータ，減速機，エンコーダを組み込みま◯駆動方式を外部から弾性腱をまきとる方式として、関節をせん）簡単構造にします。（関節にはモータ、減速機、エンコーダを組み込みません）◯ このロボットでは，関節軸が定まらないため，関節角度で運動を表現して制御すれば誤差が大きく，また作業にたいして遠回りな計◯このロボットでは、関節軸が定まらないため、関節角度で算となります．そこで，アームの姿勢行列から直接的に腱の変位を運動を表現して制御すれば誤差が大きく、また作業にたい計算する方法で作業制御する方法を提案します．して遠回りな計算となります。そこで、アームの姿勢行列から直接的に腱の変位を計算する方法で作業制御する方法◯ 低コストな材料で，現場でカスタマイズできるロボットや使い捨を提案します。て型のロボットアームの構成方法になることを期待しています．分 野： 機械システム工学専 門： ロボット工学，制御工学1 µm200 µm0.2 mm1mm1 mm500 µmによる能動撥水スキン、手触り感可変スキン）柔軟ロボットのための関節角を使わない運動計画と制御キーワード［ 柔軟関節ロボット、 低コストロボット ］MEMS・ナノデバイスと微細加工プロセスの開発キーワード［ MEMS、超微細加工、センサ、アクチュエータ ］教授 水戸部 和久教授 峯田 貴
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