塗布型バックプレーンIJ塗布による有機トランジスタ全塗布型バックプレーン≒80,000個の有機トランジスタ 有機トランジスタを用いたフレキシブル有機ELディスプレイアアピピーールルポポイインントト：： ウウェェッットトププロロセセススにによよるる安安価価ななハハイイババリリアア構構造造 フレキシブル有機ELでは真空技術を用いたバリア構造が一般的に用いられていますが、当研究室では世界で初めて有機EL上にウェットプロセスによるハイバリア構造（wet-TFE）を達成しました。これは有機ELだけでなく、水蒸気から保護する必要のあるデバイス・パッケージにも用いることが可能な革新的技術です。分 野：有機エレクトロニクスデバイス 専 門： 有機EL、有機光化学印刷電極最小Line/Space5μm/5μm内 容内内容容：： フフレレキキシシブブルル有有機機EELLのの総総合合的的研研究究フレキシブル有機ELの総合的研究 有機EL（OLED）は、電気を流すことで発光する発光デバイスです。 有機EL（OLED）は、電気を流すことで発光する発光デバイ有機ELは「フレキシブル」「透明パネル」が可能であるという特徴をスです。有機ELは「フレキシブル」「透明パネル」が可能であ持っており、ディスプレイだけでなく、照明、サイネージ、車載等のるという特徴を持っており、ディスプレイだけでなく、照明、サ広い産業分野に今後の発展が期待されています。広く普及するたイネージ、車載等の広い産業分野に今後の発展が期待されていまめのポイントは、フレキシブルパネルを安く提供する「革新的なフレす。広く普及するためのポイントは、フレキシブルパネルを安くキシブル技術」であり当研究室では一般的な技術に留まらず新規提供する「革新的なフレキシブル技術」であり当研究室では一般技術を研究しています。的な技術に留まらず新規技術を研究しています。 私達の研究室では、①フレキシブル化技術、②有機ELを安価に 私達の研究室では、①フレキシブル化技術、②有機ELを安価に作製するウェットプロセス、③試作を通じた市場開拓、に取り作製するウェットプロセス、③試作を通じた市場開拓、に取り組ん組んでいます。大サイズのフレキシブルパネルの試作技術も保有でいます。大サイズのフレキシブルパネルの試作技術も保有してしており、大型パネル（200mm角）の作製が可能です。またパおり、大型パネル（200mm角）の作製が可能です。またパネルの駆ネルの駆動に必要なドライバ回路も併せて開発しています。動に必要なドライバ回路も併せて開発しています。アピールポイントウェットプロセスによる安価なハイバリア構造 フレキシブル有機ELでは真空技術を用いたバリア構造が一般的に用いられていますが、当研究室では世界で初めて有機EL上にウェットプロセスによるハイバリア構造（wet-TFE）を達成しました。これは有機ELだけでなく、水蒸気から保護する必要のあるデバイス・パッケージにも用いることが可能な革新的技術です。分 野専 門E-mail ・ suzuri@yz.yamagata-u.ac.jpTel ・ 0238-29-0577Fax ・ 0238-29-0569HP ・ http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/suzuri-lab/内 容内容： 有機半導体は柔軟性を持ち、低温で塗布形成できる特徴を有す 有機半導体は柔軟性を持ち、低温で塗布形成できる特徴を有することから有機トランジスタへの適用が活発に進められてきました。ることから有機トランジスタへの適用が活発に進められてきまし従来、有機トランジスタの移動度はa-Si程度（～1cm2/Vs)の値でした。従来、有機トランジスタの移動度はa-Si程度（～1cm2/たが、最近、我々は新規有機半導体材料とポリマーゲート絶縁膜Vs)の値でしたが、最近、我々は新規有機半導体材料とポリマーを用いホール移動度16cm2/Vsが得られる極めて高性能の有機トラゲート絶縁膜を用いホール移動度16cm2/Vsが得られる極めて高性能の有機トランジスタの開発に成功しました。この移動度はンジスタの開発に成功しました。この移動度は酸化物トランジスタ酸化物トランジスタに匹敵し、今まで想定していたアプリケーに匹敵し、今まで想定していたアプリケーション以外の展開も多いション以外の展開も多いに期待されています。に期待されています。 デバイスへの展開を見据えた場合、有機トランジスタの高密度 デバイスへの展開を見据えた場合、有機トランジスタの高密度化、化、アレイ化は重要となります。我々は高密度塗布型有機トランアレイ化は重要となります。我々は高密度塗布型有機トランジスタジスタアレイ（～100ppi）の開発に取り組み、フォトリソグラアレイ（～100ppi）の開発に取り組み、フォトリソグラフィーと印刷技フィーと印刷技術を複合したプロセス、あるいは、印刷、塗布だ術を複合したプロセス、あるいは、印刷、塗布だけの全塗布型プロけの全塗布型プロセスを開発してきました。その成果として、有セスを開発してきました。その成果として、有機トランジスタを用い機トランジスタを用いたフレキシブルカラー有機ELディスプレたフレキシブルカラー有機ELディスプレイの開発に成功しています。イの開発に成功しています。アピールポイントアピールポイント： 有機材料、無機材料の細印加工技術を用いた高密度塗布型有 有機材料、無機材料の細印加工技術を用いた高密度塗布型有機トランジスタ、フレキシブルディスプレイ等の有機デバイス研究を機トランジスタ、フレキシブルディスプレイ等の有機デバイス産学連携で取り組み、エレクトロニクス産業の発展を目指します。研究を産学連携で取り組み、エレクトロニクス産業の発展を目指します。分 野： 有機デバイス専 門： 有機トランジスタ、フレキシブルデバイス分 野E-mail ： m_mizukami@yz.yamagata-u.ac.jp専 門Tel ： 0238-29-0574 E-mail ・ m_mizukami@yz.yamagata-u.ac.jpFax ： 0238-29-0569 Tel ・ 0238-29-0574HP ： https://inoel.yz.yamagata-u.ac.jpFax ・ 0238-29-0569HP ・ https://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp91透明・フレキシブル有機ELパネル (200x50mm)デバイス上にデバイス特性の影響なく、ウェットプロセス・低温にて、ハイバリア構造を形成︕ACS Appl. Mater. & Interfaces,46,43425 (2019)等ウェットプロセスによるハイバリア構造の研究プロセスの特徴-窒素下-室温-VUV光照射(λ<200nm)有機エレクトロニクスデバイスE-mail ： suzuri@yz.yamagata-u.ac.jp有機EL、有機光化学Tel ： 0238-29-0577 Fax ： 0238-29-0569 HP ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/suzuri-lab/有機デバイス有機トランジスタ、フレキシブルデバイス世界初Wet-TFE技術次世代フレキシブル有機EL技術の研究キーワード［ 有機EL、フレキシブル、ウェットプロセス、ハイバリア ］高密度塗布型有機トランジスタの研究キーワード［ 有機トランジスタ、塗布型、高密度、フレキシブル ］准教授 硯里 善幸准教授 水上 誠
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